渦流涂鍍層測(cè)厚儀工作原理

        1、基本原理
        渦流鍍層測(cè)厚儀的基本工作原理是當(dāng)探頭與待測(cè)樣品接觸時(shí)，探頭裝置產(chǎn)生的高頻電磁場(chǎng)使置于探頭下方的金屬導(dǎo)體產(chǎn)生渦流。它的幅度和相位是導(dǎo)體和探頭之間的非導(dǎo)電涂層厚度的函數(shù)。即渦流產(chǎn)生的交變電磁場(chǎng)會(huì)改變探頭參數(shù)，而探頭參數(shù)變量的大小，再對(duì)這個(gè)電信號(hào)進(jìn)行轉(zhuǎn)換處理，就可以得到被測(cè)涂層的厚度。
         2、影響測(cè)量精度的原因
        (1)當(dāng)覆蓋層厚度大于25μm時(shí)，誤差與覆蓋層厚度近似成正比；
         (2)母材的電導(dǎo)率對(duì)測(cè)量有影響，這與母材的材料成分和熱處理方法有關(guān)；
         (3)任何一種測(cè)厚儀都要求母材有一個(gè)臨界厚度，只有大于這個(gè)厚度，測(cè)量才不會(huì)受到母材厚度的影響；
         (4)渦流測(cè)厚儀器對(duì)圖案測(cè)量有邊緣效應(yīng)，即靠近圖案邊緣或內(nèi)角的測(cè)量不可靠。
         (5) 樣品的曲率對(duì)測(cè)量有影響，這種影響會(huì)隨著曲率半徑的減小而顯著增加；
         (6)母材和覆蓋層的表面粗糙度影響測(cè)量精度，粗糙度增大，影響增大；
         (7)渦流測(cè)厚儀對(duì)阻止探頭與被覆層表面緊密接觸的粘附物質(zhì)敏感。因此，測(cè)量前應(yīng)清除探頭表面和覆蓋層的污垢；探頭與測(cè)試表面保持恒定壓力垂直接觸。